À Marseille, la recherche se dote de nouveaux moyens pour accélérer l’innovation. Sur le campus de Saint-Jérôme, l’inauguration du volet marseillais du projet « Pertinence » (DévelopPEment des centRales de Technologie de la régioN Sud ProvENCE) marque l’entrée en service d’équipements scientifiques de pointe au bénéfice de la recherche, des partenariats industriels et de la formation en région Sud. Porté par plusieurs laboratoires et plateformes complémentaires, le programme renforce l’offre technologique en micro et nanofabrication, avec des retombées attendues dans les télécommunications, l’énergie, la santé et les sciences de la vie.
Un projet au cœur des collaborations avec l’industrie
En permettant de nouer des collaborations avec des PME innovantes de la région et des grands groupes industriels à travers des projets communs et des prestations, ce projet se distingue par son fort lien avec le monde socio-économique. Ces centrales de technologie participeront également à la formation des étudiants et joueront un rôle primordial dans le cycle de doctorat.
Quatre laboratoires mobilisés à l’échelle de la région Sud
Ce projet rassemble quatre laboratoires de la région Provence-Alpes-Côte d’Azur : trois laboratoires marseillais, le Centre Interdisciplinaire de Nanoscience de Marseille – CINaM (AMU / CNRS), l’Institut Fresnel (AMU / Centrale Marseille / CNRS) et l’Institut Matériaux Microélectronique Nanosciences de Provence – IM2NP (AMU / CNRS / Université de Toulon) et un laboratoire sur Nice, le Centre de Recherche sur l’Hétéro-Epitaxie et ses Applications – CRHEA (CNRS / Université Côte d’Azur).
Trois plateformes marseillaises complémentaires, intégrées à Renatech+
Le volet marseillais du projet Pertinence implique plus précisément les plateformes technologiques Espace Photonique, PLANETE et NanoTecMat, rattachées aux trois laboratoires précédemment cités, qui sont toutes les trois labellisées Plateforme technologique du site d’Aix-Marseille et intégrées au réseau national Renatech+ du CNRS. Ces trois plateformes proposent des offres différentes mais complémentaires (filtres et couches minces optiques pour l’Espace Photonique, micro et nanofabrication pour PLANETE et filière silicium pour NanoTecMat) avec des applications qui relèvent de la science des matériaux, des nanotechnologies, de la microélectronique, du spatial, des technologies quantiques, du photovoltaïque et des sciences de la vie.
Le projet a été défini collectivement de façon à assurer une parfaite complémentarité entre les plateformes régionales. Les objectifs recherchés pour chacune des plateformes sont les suivants :
–Institut Fresnel : la plateforme Photonique dispose d’équipements de très haut niveau notamment pour le développement de filtres complexes à base de couches minces optiques. L’objectif du projet HELIOS pour l’institut Fresnel était de disposer des nouvelles avancées en terme de
Actualités presse CNRS technologie par pulvérisation cathodique magnétron pour le développement d’empilements
multicouches complexes et de compléter notre panel de techniques de dépôt de couches minces optiques, notamment compatibles semi-conducteurs et wafers 8 pouces.
– CINaM : le centre dispose d’équipements de très haut niveau notamment en microscopie électronique et nanofabrication regroupés au sein de la plateforme PLANETE. L’objectif du projet FIB SEM du CINaM est triple. Il s’agit de disposer de méthodes de préparation d’échantillons permettant de développer les techniques d’analyse tridimensionnelle en sciences des matériaux et sciences de la vie, de remplacer un équipement Focused Ion Beam (FIB) obsolète (acquis en 2002) et de compléter le panel de techniques de nanofabrication en particulier de lithographie.
–Concernant la plateforme NanoTecMat de l’IM2NP, qui regroupe une chaîne d’outils technologiques de pointe en micro/nanofabrication et nanocaractérisation, l’objectif du projet d’équipements vise, d’une part, à consolider l’offre technologique de NanoTecMat en assurant le remplacement d’un Microscope à Force Atomique, AFM, équipement de nanocaractérisation qui est au coeur des différents procédés développés dans la plateforme, d’autre part, à étendre l’offre technologique de la plateforme en développant des nouveaux moyens et expertises associée en métrologie grâce à une équipement d’ellipsométrie spectroscopique et en traitement/élaboration de nanostructures grâce à une source d’évaporation par canon à électrons et sources plasmas pour le traitement de surface.
Financé dans le cadre du Contrat d’avenir 2021-2027, le coût global de cette opération s’élève à 2 989 000 € pour le volet marseillais, financé comme suit :
– Région Provence-Alpes-Côte d’Azur : 1 339 400 €
– État (France 2030 / PEPR électronique) : 454 500 €
– État (CNRS) : 250 000 € K€
– État (DRARI) : 244 100 € K€
– Ville de Marseille : 500 000 €
– Ressources Propres laboratoires : 201 000 €
Le projet s’est terminé à l’été 2025 et l’ensemble des équipements est désormais opérationnel et mis en oeuvre dans divers projets scientifiques et industriels.
Pour Renaud Muselier, président de Provence-Alpes-Côte d’Azur « Ce projet place la science au coeur de l’innovation, de l’industrie et de l’emploi. En faisant le choix d’équipements scientifiques de pointe, nous donnons aux chercheurs et aux entreprises les moyens de travailler ensemble et d’innover ici, en région Sud. » « Avec le projet “Pertinence”, ajoute Aurélie Biancarelli, adjointe au maire en charge de la Recherche, Vie Etudiante et l’Enseignement Supérieur, Marseille affirme un choix clair : investir dans une science d’excellence, utile au territoire et ouverte sur l’innovation technique et industrielle. En soutenant des équipements scientifiques de pointe, la Ville renforce l’attractivité de ses laboratoires, accompagne la formation des jeunes chercheurs et contribue au rayonnement scientifique de Marseille à l’échelle nationale et internationale. La recherche est ici un levier de développement, d’emploi et d’avenir pour notre territoire.»
Avec des équipements désormais en service et une offre technologique renforcée, Pertinence consolide à Marseille un outil collectif au service des projets scientifiques ambitieux, du transfert vers l’industrie et de la formation des talents qui feront l’innovation de demain.
La rédaction
